フォトリソグラフィの流れが理解できる｜日本企業が強い分野はこれだ！
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フォトリソグラフィの流れが理解できる｜日本企業が強い分野はこれだ！
フォトリソグラフィとは、感光性のあるレジストを塗布したウエハに、パターンが描写されたマスク越しに光を照射し、回路などのパターンを形成させる技術です。 半導体プロセスの中でも、最小加工寸法の微細化おいて非常に重要な工程ですが、レジスト ...
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リソグラフィーの基礎 の重要な瞬間に移動する

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01:00 から前処理とレジストの種類
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00:02 から動画の構成
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