ナノファブリケーションを支える先端リソグラフィ：EUV・X線・電子・イオンによる微細加工技術
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ナノファブリケーションを支える先端リソグラフィ：EUV・X線・電子・イオンによる微細加工技術
本動画は、ナノスケールデバイス製造を支える**先端リソグラフィ技術（Next-Generation Lithography, NGL）**の原理・特徴・応用・課題を、わかりやすくまとめた解説です。 🧩 動画の主な内容 1️⃣ リソグラフィの基礎と進化 光学リソグラフィの限界を超えるため ...
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